下载借助干涉长度测量确定物体的空间位置的方法和设备的技术资料

文档序号:18823786

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本申请涉及用于确定到可移动目标物体的距离和/或所述可移动目标物体(40)的位置的方法,包括以下步骤:将相干聚焦测量光束(25)指向具有凸形反射表面的球形目标物体(40),使得目标物体(40)的中心位于测量光束(25)的焦点;以及通过干涉地叠...
该专利属于比约恩·哈布里希所有,仅供学习研究参考,未经过比约恩·哈布里希授权不得商用。

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