下载用于生产多晶硅颗粒的流化床反应器和方法的技术资料

文档序号:18820762

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本发明涉及一种用于生产颗粒形式的多晶硅的流化床反应器,所述反应器包括反应器容器,具有多晶硅的用于流化床的内部反应器管,所述反应器容器内的反应器底部,至少一个用于进给流化气体的底部气体喷嘴(9),至少一个用于进给反应气体混合物的反应气体喷嘴,...
该专利属于瓦克化学股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过瓦克化学股份公司授权不得商用。

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