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本实用新型提供适合于将基板制造所使用的药液管理为最佳状态的服务的基板处理系统及其费用的计算系统。在基板处理系统中，通过配管将基板处理机构(1)、调制药液的新液的药液调制机构(3)、对使用后的药液进行再生的药液再生机构(4)等连接。药液管理机...
该专利属于株式会社平间理化研究所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社平间理化研究所授权不得商用。

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