下载一种偏振滤光元件及其制备方法的技术资料

文档序号:18809135

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本发明公开了一种偏振滤光元件,包括基底,所述基底上依次设有介质膜层和金属线栅;所述介质膜层由高、低折射率材料层交替设置而成;所述的高折射率材料层的材料选自二氧化钛、二氧化铪、五氧化二钽、氮化硅、硫化锌;所述的低折射率材料层的材料选自二氧化硅...
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