下载六氟化硫样品气体分解产物富集、解析装置的技术资料

文档序号:18808585

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本发明公开了一种六氟化硫样品气体分解产物富集、解析装置,包括真空系统和富集与解析系统,真空系统包括机械泵、腔体和真空计;富集与解析系统包括制冷机、捕集管、加热棒、步进电机和固定模块,制冷机的制冷端位于腔体内部,捕集管和加热棒设置于固定模块上...
该专利属于广西电网有限责任公司电力科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过广西电网有限责任公司电力科学研究院授权不得商用。

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