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本发明的实施例涉及一种激光热处理装置以及利用该装置的薄膜结晶化方法，其中，向被处理薄膜照射第一激光束，并将从所述被处理薄膜反射的第一激光束反射而使第二激光束照射到被处理薄膜。此时，使所述第二激光束与被所述第一激光束照射的区域的至少一部分重叠...
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