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本发明总体来说涉及真空处理技术，具体公开一种真空设备的信息记录查询方法及系统，该方法包括：自动记录所述真空设备在处理产品的运行期间产生的设备数据，其中所述设备数据包括处理信息、工艺信息、报表信息、操作人员信息和报警信息中的任意一种或者多种；...
该专利属于中山凯旋真空科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山凯旋真空科技股份有限公司授权不得商用。

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