下载移载台、贴附装置及其贴附方法的技术资料

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一种移载台、贴附装置及其贴附方法,该移载台包括:用于承载物体的载台;设置在载台上的温度传感器;以及设置在载台上的加热装置。该移载台可解决在基板上进行膜层贴附的过程中产生气泡的问题,并且不用增加额外的脱泡设备,从而可降低成本。...
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