下载基于利用光学技术扫描透明板材表面污染的方法及其系统的技术资料

文档序号:18781467

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本发明公开了一种基于利用光学技术扫描透明板材表面污染的方法及其系统以及一种可供检测一板材的系统,其中,该透明板材具有相对平行的一受测的第一表面及一未受测的第二表面,其包含有一能发出光线的光源、一供接收光线的影像传感器及一遮蔽光线的光栅,该光...
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