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一种三明治结构薄膜及其制备方法与应用技术
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文档序号:18778059
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本发明公开一种三明治结构薄膜及其制备方法与应用,其中,所述三明治结构薄膜包括:云母基底、及在所述云母基底上设置的下层氧化物薄膜、夹层金属薄膜、上层氧化物薄膜。本发明所述三明治结构薄膜表面粗糙度低,光电性能优异,作为薄膜加热器使用响应迅速效率...
该专利属于深圳大学所有,仅供学习研究参考,未经过深圳大学授权不得商用。
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