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本发明的串联四方式纳米热电能量收集器，应用于收集射频收发组件放大器的热能给无线传感节点供电。所述的串联四方式纳米热电能量收集器制作在N型硅片衬底上，在衬底上行制作一层氮化硅和二氧化硅作为电学隔离层，在氮化硅层上制作纳米热电堆，与传统热电能量...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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