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一种压电薄膜器件制造技术
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下载一种压电薄膜器件的技术资料
文档序号:18762472
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本实用新型涉及压电元件技术领域,涉及一种压电薄膜器件,该器件具有覆盖在一空腔上的振动板以及形成于所述振动板上的压电薄膜叠层,所述压电薄膜叠层至少具有一层压电薄膜及设在压电薄膜上下表面的电极层,上下配对施加电压的电极层投影到所夹压的压电薄膜上...
该专利属于东莞市亚登电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞市亚登电子有限公司授权不得商用。
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