温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种薄膜内应力的测试方法，包括步骤：提供一待测薄膜样品；以恒定的升温速度升温待测薄膜样品至预设温度，获取升温过程中待测薄膜样品的最大收缩率，以表征待测薄膜样品的内应力。通过上述方案，本发明通过测试并获取待测薄膜样品在以恒定的速度升...
该专利属于上海恩捷新材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海恩捷新材料科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。