下载基于规则微米裂纹阵列结构柔性应变传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:18760364

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一种基于规则微米裂纹阵列结构柔性应变传感器及其制备方法,柔性应变传感器包括柔性基底,柔性基底上预制有规则裂纹结构;溅射镀膜在柔性基底上的导电层;一对铜片电极,以及两引出铜线,电极位于导电层的两端,柔性基底是采用柔性聚合物制成的薄膜。本发明采...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。

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