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一种紧凑型光纤MEMS声压传感器制造技术
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文档序号:18759212
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本实用新型公开了一种紧凑型光纤MEMS声压传感器,包括有光源、声传感探头和光电探测器,声传感探头包括有传输光纤、接收光纤、毛细管、以及固定于毛细管内的MEMS声压敏感膜片和定位基材;传输光纤的一端与光源连接,接收光纤的一端与光电探测器连接,...
该专利属于安徽民生信息股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽民生信息股份有限公司授权不得商用。
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