下载一种微纳尺寸3D打印设备的光路精密装调方法的技术资料

文档序号:18746637

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本发明公开了一种微纳尺寸3D打印设备的光路精密装调方法,先粗略安装光源、DMD芯片、45°反射镜、投影物镜、液槽和CCD传感器,使光源发射的光束经过DMD芯片反射后,进入45°反射镜后垂直入射投影物镜中心,投影物镜的焦平面和液槽中的液面重合...
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