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本发明公开了一种高精度的调整平台,其结构包括校正平台、密封腔体、UVW平台、中层板和底板,所述校正平台设于密封腔体的内侧,所述UVW平台设于校正平台的下侧,且所述校正平台与UVW平台之间通过螺栓固定连接,所述UVW平台的四角处设置了导轨,所...该专利属于深圳市永顺创能技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市永顺创能技术有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种高精度的调整平台,其结构包括校正平台、密封腔体、UVW平台、中层板和底板,所述校正平台设于密封腔体的内侧,所述UVW平台设于校正平台的下侧,且所述校正平台与UVW平台之间通过螺栓固定连接,所述UVW平台的四角处设置了导轨,所...