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具有减小的寄生效应的纳米线晶体管和用于制作这种晶体管的方法技术
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下载具有减小的寄生效应的纳米线晶体管和用于制作这种晶体管的方法的技术资料
文档序号:18736640
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提供了一种纳米线(130)晶体管,其包括具有用于使替代金属栅极(405)与寄生沟道绝缘的局部隔离区域(120)的阱注入以及在延伸区域中的氧化帽,其抑制寄生的栅极到源极和栅极到漏极电容。用于制作器件的方法包括形成交替的选择性可蚀刻的层(例如,...
该专利属于高通股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过高通股份有限公司授权不得商用。
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