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一种欠叠栅结构黑磷场效应管制造技术
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文档序号:18734485
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本发明公开了一种欠叠栅结构的黑磷场效应管,包括:导电沟道、源区、漏区、栅极氧化层、栅电极未覆盖沟道区、源极、漏极、栅极;所述的导电沟道、源区、漏区和栅电极未覆盖沟道区均采用黑磷材料制作,在所述的导电沟道、源区、漏区和栅电极未覆盖沟道区外,采...
该专利属于南京邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京邮电大学授权不得商用。
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