下载一种梯形沟槽隔离的低容TVS器件结构的技术资料

文档序号:18734445

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本发明公开涉及一种梯形沟槽隔离的低容瞬态电压抑制器(TVS)结构,该集成型的半导体保护器件包括由衬底材料、外延层、N型掺杂和P型掺杂构成的半导体主体,其不同掺杂浓度构成的瞬态抑制二极管TVS和开关管均为纵向结构,其中TVS面积决定器件的通流...
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