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本实用新型公开了一种激光溅射离子源，该离子源包括靶体、离子通道、脉冲阀、激光器，所述离子通道与脉冲阀固定在安装座上，所述的离子通道连接脉冲阀，所述的离子通道上设有通光孔，所述的激光器出射的激光通过通光孔打在靶体的轰击面，所述靶体外周套设有靶...
该专利属于合肥美亚光电技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥美亚光电技术股份有限公司授权不得商用。

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