下载基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制方法及系统的技术资料

文档序号:18731662

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本发明提供的基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制方法及系统,对准分子激光器温度控制进行温度补偿,将Smith预估补偿与PID温度控制相结合构成复合控制,有效减小温度控制的滞后时间和超调量,提高系统的工作稳定性和响应时间。...
该专利属于北京科益虹源光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京科益虹源光电技术有限公司授权不得商用。

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