下载任意构型三维导电金属微纳结构的制造方法的技术资料

文档序号:18731451

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本发明公开了一种任意构型三维导电金属微纳结构的制造方法,先利用飞秒激光微加工技术在透明材料内部制作出三维微通道,然后通过蠕动泵将化学镀溶液连续传输通过微通道进行通道内部的表面改性及后续金属层沉积,最后通过化学蚀刻将透明材料基体去除获得三维构...
该专利属于华东师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过华东师范大学授权不得商用。

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