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本发明涉及一种硬掩模用组合物，其通过包含碳原子数6～35的芳香族化合物与下述化学式1的化合物的聚合物、以及溶剂，从而能够形成平坦性、溶解性和耐蚀刻性同时提高的硬掩模。下述化学式1中，R1和R2各自独立地为碳原子数1～8的烷基，彼此可以连接而...
该专利属于东友精细化工有限公司;崔相俊所有，仅供学习研究参考，未经过东友精细化工有限公司;崔相俊授权不得商用。

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