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砷化镓纳米柱阵列太赫兹波发射装置及制造方法制造方法及图纸
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文档序号:18720233
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本发明涉及太赫兹波发射装置,为提高纳米超材料对光电导天线性能的调制能力,实现增大光电流,提高天线的辐射功率和效率,同时减小飞秒激光在半导体中的趋肤深度,使载流子漂移运动方向更好的束缚在半导体表面。为此,本发明采用的技术方案是,砷化镓纳米柱阵...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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