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具有离轴防震的MEMS装置制造方法及图纸
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下载具有离轴防震的MEMS装置的技术资料
文档序号:18718789
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一种微机电系统(MEMS)装置,例如单轴加速度计,包括悬挂在基板上的可移动质量。所述可移动质量具有第一部分和第二部分。第一弹簧系统使所述可移动质量的所述第一部分与所述可移动质量的所述第二部分互连。第二弹簧系统使所述第一部分与锚定系统互连。所...
该专利属于恩智浦美国有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过恩智浦美国有限公司授权不得商用。
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