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一种用于半导体的微弧放电切割装置制造方法及图纸
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下载一种用于半导体的微弧放电切割装置的技术资料
文档序号:18718118
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本发明公开的一种用于半导体的微弧放电切割装置,包括底座,底座上竖直固接有长方体结构的立柱,立柱的一个侧面自上而下依次设置有驱动装置和“几”字形工作台,且“几”字形工作台的台面平行且背对于立柱侧面,立柱的侧面竖直设置有滑动机构,“几”字形工作...
该专利属于西安理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安理工大学授权不得商用。
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