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本发明涉及背板技术领域，公开了一种LTPS背板布线的刻蚀工艺，可实现稳定的大规模LTPS生产，包括第一步采用刻蚀气体和添加剂气体以200nm/min～600nm/min的刻蚀速率高速刻蚀完整层TiAlTi或者余下部分底层Ti；或者第一步以1...
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