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本发明公开了一种金属氧化物钝化的薄膜晶体管的制备，本发明采用溶胶凝胶的制备方法，以Al(NO3)3·9H2O为溶质、N,N‑二甲基甲酰胺为溶剂的前驱体溶液在衬底上进行旋涂，制备出Al2O3薄膜，并进一步制备出以Al2O3薄膜为钝化层、In2...
该专利属于青岛大学所有，仅供学习研究参考，未经过青岛大学授权不得商用。

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