专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
吉林大学
>
一种复合绝缘结构、晶体管以及复合绝缘结构和晶体管的制作方法技术
>技术资料下载
下载一种复合绝缘结构、晶体管以及复合绝缘结构和晶体管的制作方法的技术资料
文档序号:18718028
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供了一种复合绝缘结构、晶体管以及复合绝缘结构和晶体管的制作方法,所述复合绝缘结构由AlN薄膜层以及在所述AlN薄膜层表面氧化形成的氧化层构成,其中,AlN薄膜层用于抑制由隧穿引起较大漏电流的同时提高器件的散热能力,而氧化层由于具有较...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。