下载一种负电容场效应晶体管中抑制随机掺杂效应的建模方法的技术资料

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本发明公开了一种负电容场效应晶体管中抑制随机掺杂效应的建模方法。该方法提供了NC‑MOSFET的剖面结构,在传统MOSFET的金属栅极上添加一层氧化铪(HfO)作为铁电材料,实现负电容的集成制作。建立了NC‑MOSFET的串联等效电容模型,...
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