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本实用新型涉及LTCC超快加工系统，依光路方向设有：激光器，输出光束；第一反射单元，将从激光器输出光束射入光束整形模组；光束整形模组，对光束进行扩束和过滤；衰减模组，将入射光分成平行方向和垂直方向的两束光；第二反射单元，将分光后的水平方向的...该专利属于苏州德龙激光股份有限公司;江阴德力激光设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州德龙激光股份有限公司;江阴德力激光设备有限公司授权不得商用。