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本发明公开了一种管道吹扫装置及工艺气体输送清洁系统，属于管道清洁系统技术领域。管道吹扫装置包括负压真空模组，该模组包括依次连接的第一逆止阀、第一压力表和第一隔膜阀，还包括连接在第一压力表与第一隔膜阀之间的分支管路，分支管路上设置有第二隔膜阀...该专利属于上海正帆科技股份有限公司;江苏正帆半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海正帆科技股份有限公司;江苏正帆半导体设备有限公司授权不得商用。