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本实用新型公开了一种化学机械研磨装置，包括工作台，所述工作台的内部设有驱动腔，所述驱动腔的内部设有第一驱动装置，所述第一驱动装置的输出轴末端固定连接有转动杆，所述转动杆的上端贯穿工作台并固定连接有研磨平板，所述研磨平板的上端设有研磨垫，所述...
该专利属于隗阳所有，仅供学习研究参考，未经过隗阳授权不得商用。

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