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用于改善迁移率的具有应力材料的异质接面双极晶体管制造技术
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下载用于改善迁移率的具有应力材料的异质接面双极晶体管的技术资料
文档序号:18671106
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本发明涉及用于改善迁移率的具有应力材料的异质接面双极晶体管,根据本文中的半导体装置,该装置包括衬底。主动装置形成在该衬底中。该主动装置包括集极区、形成于该集极区上的基极区、及形成于该基极区上的射极区。隔离结构围绕该主动装置而形成在该衬底中。...
该专利属于格芯公司所有,仅供学习研究参考,未经过格芯公司授权不得商用。
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