下载一种通过物理气相传输法生长氮化铝单晶的坩埚装置的技术资料

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本实用新型公开了一种通过物理气相传输法生长氮化铝单晶的坩埚装置,包括用于放置氮化铝粉源/氮化铝烧结体的坩埚本体、设于坩埚本体顶部的坩埚盖、设于坩埚本体中的位于坩埚盖下方的籽晶台、设于籽晶台下方的导流加热罩,导流加热罩沿远离籽晶台的方向向下逐...
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