温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种具有多孔介质层的金属互连结构，其包括有在多孔介质层中具有通孔结构，通孔的边缘部分低于下层介质层中的互连线的上表面，在下层介质层中的互连线周围形成有第一凹槽结构，多孔介质层中的通孔结构采用飞秒激光刻蚀形成，在刻蚀过程中使所述多...
该专利属于佛山市宝粤美科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过佛山市宝粤美科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。