下载一种遮蔽框及化学气相沉积装置的技术资料

文档序号:18619265

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本发明公开一种遮蔽框,该遮蔽框可与一承载台结合,以遮蔽位于承载台上基板的周围区域。此遮蔽框包括遮蔽外框和遮蔽内框,在遮蔽外框远离承载台的一面凸设有至少一限位装置,遮蔽内框通过该限位装置套设于遮蔽外框上,使遮蔽内框相对于遮蔽外框水平方向固定但...
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