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一种用于硅片夹持的夹具机头制造技术
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下载一种用于硅片夹持的夹具机头的技术资料
文档序号:18617281
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本发明公开了一种用于硅片夹持的夹具机头,属于硅片清洗技术领域。该夹具机头包括机座,机座内穿设有两个驱动杆和两个连接杆,两个驱动杆的左端分别连接有驱动块,两个连接杆的左端直径逐渐缩小,两个驱动块上分别设有支撑件,两个支撑件分别在复位机构的作用...
该专利属于上海提牛机电设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海提牛机电设备有限公司授权不得商用。
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