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应变感测装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:18612846
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本发明提供一种应变感测装置及其制造方法。应变感测装置包括衬底与至少一感测电极。衬底具有多个孔洞。至少一感测电极位于衬底上,其中与衬底接触的感测电极延伸至衬底的多个孔洞中。至少一感测电极具有平行于衬底的表面的长轴。由于感测电极延伸至衬底的多个...
该专利属于华邦电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华邦电子股份有限公司授权不得商用。
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