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为了提供一种构造简单且能够实现高能效工件处理的处理设备，建议该处理设备包括：处理室，该处理室包括多个处理室区段，所述处理室区段各自被分配给所述处理设备的多个单独的循环空气模块中的一个；加热设备，该加热设备包括自身闭合的加热气体管道，其中多个...
该专利属于杜尔系统股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过杜尔系统股份公司授权不得商用。

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