下载一种太阳能电池用氮化硅膜热处理装置的技术资料

文档序号:18601270

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本实用新型公开了一种太阳能电池用氮化硅膜热处理装置,包括溶胶液箱、容箱、玻璃室门和处理室主体,所述溶胶液箱外侧面上安装有第一电机,第一电机上转动安装有叶轴,所述容箱底部安装有喷涂头,所述玻璃室门通过铰链铰接安装在处理室主体正表面上,处理室主...
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