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本实用新型公开了一种太阳能电池用氮化硅膜热处理装置，包括溶胶液箱、容箱、玻璃室门和处理室主体，所述溶胶液箱外侧面上安装有第一电机，第一电机上转动安装有叶轴，所述容箱底部安装有喷涂头，所述玻璃室门通过铰链铰接安装在处理室主体正表面上，处理室主...
该专利属于天津市瓦克新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津市瓦克新能源科技有限公司授权不得商用。

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