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一种具有发射和接收光信号功能的芯片及其制作方法技术
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文档序号:18596175
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本发明公开了一种具有发射和接收光信号功能的芯片及其制作方法,其中制作方法包括以下步骤:S1:在衬底上生长LED外延层形成LED芯片;S2:利用光刻技术和刻蚀技术将LED芯片的部分区域刻蚀至衬底;S3:在衬底上生长Au层形成金焊垫;S4:在金...
该专利属于西安中为光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安中为光电科技有限公司授权不得商用。
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