下载一种具有发射和接收光信号功能的芯片及其制作方法的技术资料

文档序号:18596175

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本发明公开了一种具有发射和接收光信号功能的芯片及其制作方法,其中制作方法包括以下步骤:S1:在衬底上生长LED外延层形成LED芯片;S2:利用光刻技术和刻蚀技术将LED芯片的部分区域刻蚀至衬底;S3:在衬底上生长Au层形成金焊垫;S4:在金...
该专利属于西安中为光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安中为光电科技有限公司授权不得商用。

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