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本发明提供了一种多晶硅片的金刚线超声复合加工方法，属于太阳能硅片切割加工领域。该复合加工方法是：切割钢线往复切割多晶硅片的同时复合超声振动，所施加的超声振动方向与切割线运动方向和硅锭进给方向所形成的平面垂直。所施加的超声振动可以对工件施加也...
该专利属于安徽科技学院所有，仅供学习研究参考，未经过安徽科技学院授权不得商用。

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