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锗纳米膜柔性透明型顶底双栅薄膜晶体管及其制备方法技术
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文档序号:18578094
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本发明涉及高控制力薄膜晶体管技术、柔性器件,为提出薄膜晶体管及其制造技术方案,所述晶体管有较好的性能以及较高的工作频率和较强的栅极控制力,在柔性集成电路的制作、智能穿戴以及光电器件领域具有广泛的应用前景。为此,本发明采用的技术方案是,锗纳米...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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