下载锗纳米膜柔性透明型顶底双栅薄膜晶体管及其制备方法的技术资料

文档序号:18578094

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本发明涉及高控制力薄膜晶体管技术、柔性器件,为提出薄膜晶体管及其制造技术方案,所述晶体管有较好的性能以及较高的工作频率和较强的栅极控制力,在柔性集成电路的制作、智能穿戴以及光电器件领域具有广泛的应用前景。为此,本发明采用的技术方案是,锗纳米...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。

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