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本发明提供根据显现碱性的显影液的特性值来精度良好地算出显影液的碱成分、溶解的光致抗蚀剂、吸收的二氧化碳等各成分的浓度的浓度监视装置、以及将显影液的显影性能维持并管理成最佳的状态的显影液管理装置。显影液的浓度监视装置(A)具备：对与反复使用且...
该专利属于株式会社平间理化研究所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社平间理化研究所授权不得商用。

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