下载一种中红外氟氧玻璃陶瓷Y型波导分束器及其制备方法的技术资料

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本发明属于集成光路类型技术领域,公开了一种中红外氟氧玻璃陶瓷Y型波导分束器及其制备方法,利用飞秒激光直写氟氧玻璃陶瓷贯穿的单线波导,通过分析并计算不同激光功率下直写的波导传输损耗,确定Y型分束器激光加工参数,测试了单线波导和Y型分束器的导光...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。

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