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一种电陶炉炉盘制造技术
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文档序号:18572829
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本发明公开了一种电陶炉炉盘,电陶炉炉盘包括炉盘壳体、发热炉盘、温控线和晶板,炉盘壳体内部为一盆腔,炉盘壳体外侧为多层真空结构,发热炉盘设置在炉盘壳体内侧,炉盘壳体和发热炉盘之间设有绝缘装置,温控线固定在发热炉盘上,晶板安装在发热炉盘上方与炉...
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