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本发明涉及一种微镜结构，尤其是一种MEMS微镜结构，属于MEMS封装结构的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述MEMS微镜结构，包括制备于微镜框架内的微镜镜面，所述微镜镜面通过微镜驱动结构与微镜框架适配连接；还包括用于驱动控制微镜镜面的...
该专利属于中科芯集成电路股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科芯集成电路股份有限公司授权不得商用。

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