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本发明公开了一种大面积制备纳米光栅的方法，属于微纳米加工技术领域。该方法利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料；将抽真空后的PDMS浇注在DVD光盘具有纳米结构的表面，得到PDMS软模板；将PDMS软模板的纳米图案区域与衬底充分贴合，通过金属刻...
该专利属于中央民族大学所有，仅供学习研究参考，未经过中央民族大学授权不得商用。

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